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碳化硅陶瓷具有优良的力学性能、优良的抗氧化性、高的抗磨损性以及低的摩擦系数,应用于各类平面及圆周面密封件;极强耐腐蚀性,无压烧结碳化硅(SSiC)最耐HF酸的陶瓷;密度小、强度好,应用于各类半导体设备精密平台、导轨。